根據《中華人民共和國安全生產法》第一百條規定：未經依法批準，擅自生產、經營、運輸、儲存、使用危險物品或者處置廢棄危險物品的，依照有關危險物品安全管理的法律、行政法規的規定予以處罰；構成犯罪的，依照刑法有關規定追究刑事責任。微電子潔凈室的三廢分為廢物、廢氣、廢液，因此，潔凈室的三廢處理應當完全合法，不能造成環境污染和安全事故，做到人與自然和諧相處；同時，科學、嚴格的分類回收處理是進一步加強實驗室安全管理，實現資源有效利用的體現。

6.1 廢物處理潔凈實驗室固體廢物指實驗所產生的各類危險固態廢物，包括：存放實驗原料的容器、實驗材料的包裝、廢棄實驗玻璃器物等其他固體形式 [17]2019 年 7 月 1 日《上海市生活垃圾管理條例》正式實施，實驗室廢物管理可參照該條例把實驗廢物也進行分類回收，實驗廢物與生活垃圾不混同，實驗廢物由學校有資質的部門進行回收處理。

6.2 廢氣處理對實驗過程中能夠產生無毒氣體或少量有毒氣體的實驗，可直接通過通風櫥和通風管道進行排放；對某一次實驗有大量有毒有害氣體產生的實驗，可根據不同的化學性質進行吸收處理，無害后排放；對某實驗設備一直會產生有毒有害氣體的，應給這個實驗設備安裝額外的尾氣處理裝置，實驗廢氣經過該尾氣處理裝置后，由學校有關部門驗收合格后，該實驗設備才能正常使用 。

6.3 廢液處理實驗室廢液特點是：量大、品類繁多、回收事務繁雜且隨著實驗的進行隨時都可能產生；在實驗過程中產生的任何廢液嚴禁簡單隨意地倒入實驗室水槽，有效管理實驗廢液是實驗室安全管理的重要內容 。實驗室廢液處理，有條件的學校可以建立廢液處置系統，該系統驗收合格后，廢液可達標排放。實驗廢液一般采用體積稍大（例如：25進行分類收集（例如：分為有機廢液和無機廢液），并貼上標簽記錄；后續倒入廢液前，應查看該桶的收集記錄，確認不會與桶內原有廢液產生異常反應；如果有可能產生反應，則該廢液單獨存放其他容器中進行后續回收處理。